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国产 制冷剂R14

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制冷剂R14

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更 新: 2020-10-28
价 格:  1 
品 牌: 国产 
型 号:
  • PFC-14(R-14)
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数 量:
-+
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 四氟甲烷,亦称四氟化碳、全氟化碳,PFC-14(R-14)。分子式:CF4。相对分子量:88.00。在常温下,四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。沸点:-128℃,熔点:-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力3.74Mpa,蒸气压(-150.7℃)13.33kPa,介电常数(25℃,0.5Mpa)1.0006。挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一,在900摄氏度时,不与钢、镍、钨、钼反应,仅在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25摄氏度及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时, 会分解产生有毒氟化物,危险性类别为第2.2类不燃气体。

用途
四氟甲烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

 
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