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巨化 四氟化碳

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四氟化碳

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更 新: 2020-10-22
价 格:
品 牌: 巨化 
型 号:
  • R14
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数 量:
-+
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 R-14(CF4、四氟化碳、四氟甲烷、氟利昂-14、Freon 14、PFC-14、FC-14、R14)
冷媒名称 R-14 冷媒名称 R-14
沸点(1atm),℃ -128.1 破坏臭氧潜能值(ODP) 0
饱和蒸气压(-150.7℃),kPa 13.33 全球变暖潜能值(GWP,100 yr) 5700
临界温度,℃ -45.6 燃烧 不可燃
临界压力,MPa 3.75 ASHRAE安全级别 A1(无毒不可燃)
主要应用
R14主要用于超低温(深冷)复叠式制冷设备中,R14也是低温配合冷媒的重要组分;四氟化碳(别名:四氟甲烷,全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、CF4、PFC-14)是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
包装规格
钢瓶包装,5kg/瓶,32.8kg/瓶。

 
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